MEMS传感器行业迎来快速发展期

1. MEMS传感器行业迎来快速发展期

一、MEMS传感器行业产业链简介
  
 MEMS产业链将来的投资机会重点应在新型封装与测试、12寸晶圆、软件和新兴传感器研发。
  
 新的封装与测试已经成为众多MEMS传感器公司的焦点，由于MEMS传感器的复杂性，封装占据了整个芯片成本的很大部分，因此未来要降低成本来扩展市场，很大程度上等同于降低封装成本；其次国内整个测试效率较低，这也是制约MEMS传感器发展的瓶颈。降低封装成本、提高测试效率，是亟待解决的难题。
  
 
  
 目前几乎所有的MEMS传感器都是由8英寸晶圆产线制造的，不过由于 汽车 电子与物联网等需求的不断攀升，导致生产MEMS传感器的8英寸产线利用率极高，以生产MEMS传感器的12英寸MEMS晶圆制造将在未来几年成为热门主题，12英寸晶圆制造将影响整个MEMS传感器供应链，包括设计、材料、设备和封装等。
  
 电子产业迫切需要新的MEMS来推动智能产品和物联网的发展，期待有突破性的新产品不断出现。新兴MEMS传感器是产业投资的重点方向。
  
 软件正成为MEMS传感器的重要组成部分。随着传感器进一步集成，越来越多的数据需要处理，软件使得多种数据融合成为可能。软件将是未来的创业与投资机会。
  
 
  
 二、MEMS传感器行业产业链特征分析
  
 MEMS属于高精度行业，MEMS传感器的生产对于MEMS设备的要求也很高，目前来说我国MEMS传感器制造设备主要依靠进口，国内产品的精度不高，只能加工低端产品，而在原材料上，我国属于资源大国，多数原材料供给国内都库存充足，但是由于MEMS传感器对于原材料有着很多的特定要求需要的是特殊的功能材料，功能材料目前国内与国际市场也存在较大差距，所以在上游来看，我国MEMS传感器行业也与国外企业存在较大差距。
  
 而在产业链的下游位置，无论是 汽车 、消费电子还是物流网行业，都是我国的发展重点，在近年来都保持稳定的增长速度，对于未来MEMS传感器行业有极好的拉动作用。
  
 三、MEMS传感器业的产生对产业链的影响分析
  
 MEMS传感器相比传统传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的优点，是未来替代传统传感器的必然趋势，如此情况下，MEMS传感器替代传统传感器的趋势非常明显，同时作为MEMS传感器的上下游产业，在MEMS传感器替代传统传感器的同属于也将替代传统传感器的上下游产业，从而有力的带动MEMS传感器产业链的增长。

2. MEMS传感器的研究现状

1、微机械压力传感器微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。压阻式压力传感器的精度可达0.05%～0.01%,年稳定性达0.1%/F.S,温度误差为0.0002%,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。现阶段微机械压力传感器的主要发展方向有以下几个方面。(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成，研制智能化的压力传感器。　　(2)进一步提高压力传感器的灵敏度，实现低量程的微压传感器。　　(3)提高工作温度，研制高低温压力传感器。　　（4)开发谐振式压力传感器。2、微加速度传感器硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度计，其典型产品是Kuehnel等人在1994年报道的AGXL50型。　　国内在微加速度传感器的研制方面也作了大量的工作，如西安电子科技大学研制的压阻式微加速度传感器和清华大学微电子所开发的谐振式微加速度传感器。后者采用电阻热激励、压阻电桥检测的方式，其敏感结构为高度对称的4角支撑质量块形式，在质量块4边与支撑框架之间制作了4个谐振梁用于信号检测。3、微机械陀螺角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度的。这种陀螺仪的精度很高，但它的结构复杂，使用寿命短，成本高，一般仅用于导航方面，而难以在一般的运动控制系统中应用。实际上，如果不是受成本限制，角速度传感器可在诸如汽车牵引控制系统、摄象机的稳定系统、医用仪器、军事仪器、运动机械、计算机惯性鼠标、军事等领域有广泛的应用前景。常见的微机械角速度传感器有双平衡环结构，悬臂梁结构、音叉结构、振动环结构等。但是，实现的微机械陀螺的精度还不到10°/h，离惯性导航系统所需的0.1°/h相差尚远。4、微流量传感器　　微流量传感器不仅外形尺寸小，能达到很低的测量量级，而且死区容量小，响应时间短，适合于微流体的精密测量和控制。目前国内外研究的微流量传感器依据工作原理可分为热式（包括热传导式和热飞行时间式）、机械式和谐振式3种。清华大学精密仪器系设计的阀片式微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压敏电桥检测出流量信号。该传感器的芯片尺寸为3.5mm×3.5mm,在10ml～200ml/min的气体流量下,线性度优于5%。5、微气体传感器根据制作材料的不同，微气敏传感器分为硅基气敏传感器和硅微气敏传感器。其中前者以硅为衬底，敏感层为非硅材料，是当前微气敏传感器的主流。微气体传感器可满足人们对气敏传感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如许多气敏传感器的敏感性能和工作温度密切相关，因而要同时制作加热元件和温度探测元件，以监测和控制温度。MEMS技术很容易将气敏元件和温度探测元件制作在一起，保证气体传感器优良性能的发挥。谐振式气敏传感器不需要对器件进行加热，且输出信号为频率量，是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。北京大学微电子所提出的1种微结构气体传感器，由硅梁、激振元件、测振元件和气体敏感膜组成。硅梁被置于被测气体中后，表面的敏感膜吸附气体分子而使梁的质量增加，使梁的谐振频率减小。这样通过测量硅梁的谐振频率可得到气体的浓度值。对NO2气体浓度的检测实验表明，在0×10～1×10的范围内有较好的线性，浓度检测极限达到1×10，当工作频率是19kHz时，灵敏度是1.3Hz/10。德国的M.Maute等人在SiNx悬臂梁表面涂敷聚合物PDMS来检测己烷气体，得到－0.099Hz/10的灵敏度。6、微机械温度传感器微机械传感器与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻的特点，其固有热容量仅为10J/K～10J/K，使其在温度测量方面具有传统温度传感器不可比拟的优势。我所开发了1种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异，不同温度下梁的挠度不同，其形变可通过位于梁根部的压敏电桥来检测。其非线性误差为0.9%，迟滞误差为0.45%，重复性误差为1.63%，精度为1.9%。7、其他微机械传感器利用微机械加工技术还可以实现其他多种传感器，例如瑞士Chalmers大学的PeterE等人设计的谐振式流体密度传感器，浙江大学研制的力平衡微机械真空传感器，中科院合肥智能所研制的振梁式微机械力敏传感器等。

3. MEMS传感器的应用

1.应用于医疗MEMS传感器应用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少数大医院使用，在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外，超声振动波作用于胎儿，会对胎儿产生很大的不利作用尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。基于VTI公司的MEMS加速度传感器，提出一种无创胎心检测方法，研制出一种简单易学、直观准确的介于胎心听诊器和多普勒胎儿监护仪之间的临床诊断和孕妇自检的医疗辅助仪器。通过加速度传感器将胎儿心率转换成模拟电压信号，经前置放大用的仪器放大器实现差值放大。然后进行滤波等一系列中间信号处理，用A/D转换器将模拟电压信号转换成数字信号。通过光隔离器件输入到单片机进行分析处理，最后输出处理结果。基于MEMS加速度传感器设计的胎儿心率检测仪在适当改进后能够以此为终端，做一个远程胎心监护系统。医院端的中央信号采集分析监护主机给出自动分析结果，医生对该结果进行诊断，如果有问题及时通知孕妇到医院来。该技术有利于孕妇随时检查胎儿的状况，有利于胎儿和孕妇的健康。 2.应用在汽车电子MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻，再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。而MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律，通常由悬挂系统和检测质量组成，通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测，主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等，除了有电容式、压阻式以外，MEMS加速度计还有压电式、隧道电流型、谐振式和热电偶式等形式。其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点，是MEMS微加速度计中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率传感器，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统，主要有振动式、转子式等几种。应用最多的属于振动陀螺仪，它利用单晶硅或多晶硅的振动质量块在被基座带动旋转时产生的哥氏效应来感测角速度。例如汽车在转弯时，系统通过陀螺仪测量角速度来指示方向盘的转动是否到位，主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的制动以防止汽车脱离车道，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。 3.应用于运动追踪系统在运动员的日常训练中，MEMS传感器可以用来进行3D人体运动测量，对每一个动作进行记录，教练们对结果分析，反复比较，以便提高运动员的成绩。随着MEMS技术的进一步发展，MEMS传感器的价格也会随着降低，这在大众健身房中也可以广泛应用。　　在滑雪方面，3D运动追踪中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS可以让使用者获得极精确的观察能力，除了可提供滑雪板的移动数据外，还可以记录使用者的位置和距离。在冲浪方面也是如此，安装在冲浪板上的3D运动追踪，可以记录海浪高度、速度、冲浪时间、浆板距离、水温以及消耗的热量等信息。4.应有在手机拍照领域在MEMS Drive出现之前，手机摄像头主要由音圈马达移动镜头组的方式实现防抖(简称镜头防抖技术)，受到很大的局限。而另一个在市场上较高端的防抖技术：多轴防抖，则是利用移动图像传感器(Image Sensor)补偿抖动，但由于这个技术体积庞大、耗电量超出手机载荷，一直无法在手机上应用。凭着微机电在体积和功耗上的突破，最新技术MEMS Drive类似一张贴在图像传感器背面的平面马达，带动图像传感器在三个旋转轴移动。MEMS Drive 的防抖技术是透过陀螺仪感知拍照过程中的瞬间抖动，依靠精密算法，计算出马达应做的移动幅度并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完，你得到的图像才不会因为抖动模糊掉。手机拍照带给我们随时随地的便捷，但是面对复杂的环境、多样的拍照场景，人手拍照有无法避免的抖动，像是走着跑着躺着拍照，或者把手伸长、手握自拍杆自拍，无论哪种抖动，凭借MEMS DRIVE马达独有的三轴防抖，和快速、精准控制的技术优势，都能呈现出更清晰更锐丽的图片。

4. MEMS传感器的介绍

MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

5. MEMS传感器的主要优点有？

a.可提高信噪比。在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号以提高信号水平，减小干扰和传输的噪声，特别是同一芯片上进行A/D转换时，更能改善信噪比。

b.可改善传感器悸性能。因这种传感器集成了敏感元件、放大电路和补偿电路（如微型压力传感器）在同一芯片上在实现传感探测的同时具有信号处理的功能（在同一芯片上的反馈电路可改善输出钽电容的线性度和频响特性）：因为集成了补偿电路，可降低由温度或由应变等因素引起的误差；在同一芯片上的电压式电流源可提供自动的或周期性的自校准和自诊断。

c.输出信号的调节功能。集成在芯片上的电路可以在信号传输前预先完成A/D转换、阻抗匹配、输出信号格式化以及信号平均等信号调节和处理工作。

d.MEMS传感器还可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上形成传感器阵列（如微型触觉传感器）；或把不同的敏感元件集成在同一芯片上实现多功能传感（如微型气敏传感器）。c%ddz

e.由于MEMS传感器体积微小，重量极轻，因此其附贴片钽电容加质量等因素对被测系统的影响可以忽略不计，可提高测量精度。

6. mems传感器

mems传感器亲！您好，很高兴为您解答[开心]。亲MEMS与传感器的关系如下:MEMS,(英语全称为Microelectromechanical Systems),翻译成中文就是「微机电系统」。MEMS是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术,MEMS的发展涉及并影响着很多领域的科学研究与技术进步,包括电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等。通常,它的操作尺度在微米级别。MEMS产业得以繁荣发展,离不开半导体产业材料、加工技术的长足进步。相对于传统传感器,MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、成本低、适于批量化生产、易于集成等优势。MEMS传感器也可以是智能传感器。而随着 人工智能技术的进步,用于AI人工智能技术赋能传感器,催生了「智能传感器」。智能传感器具有信息处理功能器,其「智能」属性主要体现在「信息搜集」「智能处理」等方面,从而筛选出最具价值的信息,反馈给信息终端。传感器智能化,可以降低成本、提升精度,相对于普通传感器,其适应能力也更强。相对来说,MEMS传感器与智能传感器可以说是两种不同类型,但它们都具有成本低、性能稳定和体积小等特点。针对不同的应用场景,MEMS传感器与智能传感器可以表现出各自不同的优势。希望我的回答能帮助到您[开心]！请问您还有其它问题需要咨询吗？【摘要】
mems传感器【提问】
mems传感器亲！您好，很高兴为您解答[开心]。亲MEMS与传感器的关系如下:MEMS,(英语全称为Microelectromechanical Systems),翻译成中文就是「微机电系统」。MEMS是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术,MEMS的发展涉及并影响着很多领域的科学研究与技术进步,包括电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等。通常,它的操作尺度在微米级别。MEMS产业得以繁荣发展,离不开半导体产业材料、加工技术的长足进步。相对于传统传感器,MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、成本低、适于批量化生产、易于集成等优势。MEMS传感器也可以是智能传感器。而随着 人工智能技术的进步,用于AI人工智能技术赋能传感器,催生了「智能传感器」。智能传感器具有信息处理功能器,其「智能」属性主要体现在「信息搜集」「智能处理」等方面,从而筛选出最具价值的信息,反馈给信息终端。传感器智能化,可以降低成本、提升精度,相对于普通传感器,其适应能力也更强。相对来说,MEMS传感器与智能传感器可以说是两种不同类型,但它们都具有成本低、性能稳定和体积小等特点。针对不同的应用场景,MEMS传感器与智能传感器可以表现出各自不同的优势。希望我的回答能帮助到您[开心]！请问您还有其它问题需要咨询吗？【回答】

7. mems传感器

MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems）。
是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。

实际应用
MEMS传感器应用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用人工计数很难测量准确。
而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少数大医院使用，在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外，超声振动波作用于胎儿，会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。

8. 迈向智能制造——MEMS传感器技术应用发展

目前我国处于工业产业结构升级的重要发展阶段，未来工业制造业将逐渐向高端发展，这使得传感器等自动化相关产品迎来良好的发展机会。传感技术早已走进人类 社会 的方方面面，不仅是工业生产，连日常生活也离不开传感技术。 
  
  工业电子领域，在生产、搬运、检测、维护等方面均涉及智能传感器，如机械臂、AGV导航车、AOI检测等装备。在消费电子和医疗电子产品领域，智能传感器的应用更具多样化。如智能手机中比较常见的智能传感器有距离传感器、光线传感器、重力传感器、图像传感器、三轴陀螺仪和电子罗盘等。可穿戴设备最基本的功能就是通过传感器实现运动传感器，通常内置MEMS加速度计、心率传感器、脉搏传感器、陀螺仪、MEMS麦克风等多种传感器。智能家居（如扫地机器人、洗衣机等）涉及位置传感器、接近传感器、液位传感器、流量和速度控制、环境监测、安防感应等传感器等技术。 
  
  传感材料、MEMS 芯片、驱动程序和应用软件是智能传感器实现这些功能的核心技术，特别是 MEMS 芯片，由于其具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高并能与微处理器集成等特点，已成为智能传感器的重要载体。 
  
  MEMS全称Micro Electromechanical System，即微机电系统，是将微电子与精密机械结合发展的工程技术，尺寸在1微米到100微米量级，核心功能是将物理信号转换为电子设备能够识别的电信号，主要用于传感器。这需要MEMS器件具有通道、孔、悬臂、膜、腔等一系列结构以测量环境变量，涵盖机械（移动和旋转）、光学、电子（开关和计算）、热学、生物等功能结构，涉及众多交叉学科。 
  
  一个真正意义上的智能传感器应该具有如下功能： 
  
  1）自校准、自动标定和自动补偿功能； 
  
  2）自动采集数据、逻辑判断和数据处理功能； 
  
  3）自动调整、自适应功能； 
  
  4）一定程度的存储、识别和信息处理功能； 
  
  5）双向通信、标准数字化输出或者符号输出功能； 
  
  6）算法判断、决策处理的功能。 
  
  下面以光学传感器为例，介绍基于MEMS的智能传感器技术进展。 
  
  光学传感器具有精度高、反应快、非接触等优点，而且可测参数多、传感器的结构简单，因此光学传感器的应用领域非常广泛，如LED照明、安防、智能家居、智能交通、智能农业、玩具、可穿戴设备等数码电子产品等。非接触和非破坏性测量是光学传感器的一大优势，在电子产品检测领域应用较多。 
  
  从技术和产品趋势看，MEMS传感器正在向四化——智能化、集成化、低功耗化、微型化演进。 
  
  加入信号处理功能，实现智能化。现代传感器作为电子产品的“感知中枢”，通过加入微控制单元和相应信号处理算法，还可以承担自动调零、校准和标定等功能，实现终端设备的智能化。 
  
  传感器呈现多项功能高度集成化和组合化。由于设计空间、成本和功耗预算日益紧缩，在同一衬底上集成多种敏感元器件、制成能够检测多个参量的多功能组合MEMS传感器成为重要解决方案。 
  
  传感器低功耗化需求日趋增加。随着物联网等应用对传感需求的快速增长，传感器使用数量急剧增加，能耗也将随之翻倍。降低MEMS功耗，增强续航能力的需求将会伴随传感器发展的始终，且日趋强烈。 
  
  微型化不可逆，MEMS向NEMS演进。与MEMS类似，NEMS（纳机电系统）是专注纳米尺度领域的微纳系统技术，只不过尺寸更小。而随着终端设备小型化、种类多样化，MEMS向更小尺寸演进是大势所趋。 
  
  随着新材料，新技术的广泛应用，基于各种功能材料的新型传感器件得到快速发展，其对制造的影响愈加显著。未来，智能化、微型化、多功能化、低功耗、低成本、高灵敏度、高可靠性将是新型传感器件的发展趋势，新型传感材料与器件将是未来智能传感技术发展的重要方向。